Nanotexnologiya — təqribən 1 – 100 nm (1 nm = metrin milyardda biri) miqyasında, molekul və ya makromolekullar və atom səviyyəsində araşdırmaların və texnoloji proseslərin inkişaf etdirilməsi, atom və molekullar səviyyəsində, tamamilə yeni fiziki və kimyəvi keyfiyyətlərə malik olan strukturların, sistem və qurğuların yaradılması və tətbiq edilməsi, atom səviyyəsində baş verən proseslərə nəzarətin və manipulyasiyanın həyata keçirilməsidir. Nanotexnologiya – atom və molekullarla manipulyasiya edərək yeni keyfiyyətli materialların alınmasını və bu materiallardan istifadə edərək nanoölçülü maşın və mexanizmlərin, robotların, kompüter çiplərinin, elektronika avadanlıqlarının, optik cihazların, sensorların, ətraf mühitin kimyəvi və fiziki təmizləyicilərinin, canlı orqanizmlərə maddələrin, o cümlədən dərman preparatlarının daşınmasını həyata keçirən qurğuların yaradılmasını nəzərdə tutur.
Nanotexnologiyanın tarixi
Nanotexnologiyanın geniş kateqoriyasına daxil olan konsepsiyaların və eksperimental işlərin inkişafını izləyir. Nanotexnologiya elmi tədqiqatlarda nisbətən yeni inkişaf olsa da, onun mərkəzi konsepsiyalarının inkişafı daha uzun müddət ərzində baş vermişdir. 1980-ci illərdə nanotexnologiyanın yaranmasına 1981-ci ildə skan edən tunel mikroskopunun ixtirası və 1985-ci ildə fullerenlərin kəşfi kimi eksperimental irəliləyişlərin yaxınlaşması, nanotexnologiyanın məqsədləri üçün konseptual çərçivənin aydınlaşdırılması və populyarlaşması səbəb olmuşdur. 1986-cı ildə "Yaradılış mühərrikləri" kitabının nəşri. Sahə 2000-ci illərin əvvəllərində həm potensial təsirləri, həm də molekulyar nanotexnologiyanın tərəfdarları tərəfindən nəzərdə tutulan tətbiqlərin məqsədəuyğunluğu və hökumətlərin nanotexnologiyaya dair tədqiqatları təşviq etmək və maliyyələşdirmək üçün hərəkətə keçməsi ilə bağlı geniş müzakirələrlə, artan ictimai məlumatlılıq və mübahisələrə məruz qaldı. 2000-ci illərin əvvəlləri nanotexnologiyanın kommersiya tətbiqlərinin başlanğıcını da gördü,baxmayaraq ki, bunlar sahənin nəzərdə tutduğu transformativ tətbiqlərdən daha çox nanomaterialların kütləvi tətbiqləri ilə məhdudlaşdı.
Nanomateryalların erkən istifadəsi
Karbon nanoborucuqları Hindistanın Keeladi şəhərinin dulusçuluq məmulatlarında tapılıb. Eramızdan əvvəl 600–300-cü illər, lakin onların necə əmələ gəldiyi və ya onları ehtiva edən maddənin qəsdən istifadə edilib-edilmədiyi məlum deyil. Dəməşq poladında sementit nanotelləri müşahidə edilmişdir, bu material eramızdan əvvəl. 900-cü illərdə, onların mənşəyi və istehsal vasitələri də məlum deyil.
Nanohissəciklər müasir elmlə əlaqələndirilsə də, hələ IX əsrdə Mesopotamiyada sənətkarlar tərəfindən qabların səthində parıltı effekti yaratmaq üçün istifadə edilmişdir.
Müasir dövrdə, Orta əsrlər və İntibah dövrünə aid saxsı qablar tez-tez fərqli qızıl və ya mis rəngli metal parıltısını saxlayır. Bu parıltı, keramika şirəsinin şüşəvari matrisində homojen şəkildə səpələnmiş gümüş və mis nanohissəcikləri ehtiva edən şüşənin şəffaf səthinə çəkilmiş metal filmdən qaynaqlanır. Bu nanohissəciklər sənətkarlar tərəfindən əvvəllər şirlənmiş saxsı qabların səthinə mis və gümüş duzları və oksidləri sirkə, oxra və gil əlavə etməklə yaradılmışdır. Texnika müsəlman dünyasında yaranıb. Müsəlmanların bədii təsvirlərdə qızıldan istifadə etməsinə icazə verilmədiyi üçün onlar əsl qızıldan istifadə etmədən də oxşar effekt yaratmağın yollarını axtarırdılar. Tapdıqları həll parıltıdan istifadə idi.
Konseptual mənşəyi
Richard Feynman
Amerikalı fizik Richard Feynman, 29 dekabr 1959-cu ildə Caltech-də Amerika Fizika Cəmiyyətinin nanotexnologiya sahəsinə ilham verdiyi üçün keçirilən toplantıda "Altda çox yer var" adlı məruzə etdi. Feynman fərdi atomları və molekulları manipulyasiya etmək qabiliyyətinin inkişaf etdirilə biləcəyi bir prosesi təsvir etdi, bir dəstdən istifadə edərək, mütənasib olaraq daha kiçik olan başqa bir dəsti qurmaq və idarə etmək üçün lazım olan miqyasda. Bunun gedişində, o qeyd etdi ki, müxtəlif fiziki hadisələrin miqyasının dəyişməsi nəticəsində miqyaslaşdırma məsələləri yaranacaq: cazibə qüvvəsi azalacaq, səthi gərginlik və Van Der Waals cazibəsi daha vacib olacaq.
Feynmanın ölümündən sonra nanotexnologiyanın tarixi inkişafını tədqiq edən alim 1980 və 1990-cı illərdə yaranmaqda olan sahədə fəal olan insanların çoxunun xatirələrinə əsaslanaraq, nanotexnologiya tədqiqatlarının katalizatorunda onun faktiki rolunun məhdud olduğu qənaətinə gəldi. Cənubi Karolina Universitetinin mədəni antropoloqu Chris Toumey, Feynmanın nitqinin nəşr olunmuş versiyalarının elmi ədəbiyyatdakı sitatlarla ölçüldüyü kimi, ilk dərc edildikdən sonra iyirmi il ərzində əhəmiyyətsiz təsirə malik olduğunu və daha çox təsir göstərmədiyini təsbit etdi. 1981-ci ildə Skaner Tunel Mikroskopunun icadından sonrakı onillik. Sonradan 1990-cı illərin əvvəllərində elmi ədəbiyyatda "Bol otaq"a maraq xeyli artdı. Bu, yəqin ki, ona görədir ki, "nanotexnologiya" termini K. Erik Drexler tərəfindən 1986-cı ildə Feynmanın milyard kiçik fabrik anlayışını götürən "Yaradılış mühərrikləri: Nanotexnologiyanın gələcək dövrü" kitabında istifadə etdikdən sonra həmin dövrdən əvvəl ciddi diqqəti cəlb etmişdir. və insan operatorun nəzarəti yerinə kompüter idarəsi vasitəsilə özlərinin daha çox surətini çıxara biləcəkləri fikrini əlavə etdi; və həmin ilin sonunda kütləvi tirajlı elm yönümlü Omni jurnalında dərc olunan "Nanotexnologiya" başlıqlı örtük məqaləsində. Toumey-in təhlilinə həmçinin nanotexnologiya üzrə görkəmli alimlərin şərhləri də daxildir. Onlar deyirlər ki, "Bol otaq" onların ilk işlərinə təsir etməyib və əslində onların əksəriyyəti onu sonrakı tarixə qədər oxumayıb.
Bu və digər inkişaflar Feynmanın "Bol Otaq" əsərinin retroaktiv şəkildə yenidən kəşf edilməsinin nanotexnologiyaya 1959-cu ilin dekabr ayının erkən tarixini, üstəlik Riçard Feynmanın xarizması və dahiliyi ilə əlaqəni təmin edən paketlənmiş bir tarix verdiyinə işarə edir. Feynmanın Nobel mükafatı laureatı və 20-ci əsr elminin ikonik şəxsiyyəti kimi tanınması, şübhəsiz ki, nanotexnologiyanın tərəfdarlarına kömək etdi və keçmişlə dəyərli intellektual əlaqə yaratdı.
Norio Taniguci
Tokio Elm Universitetinin əməkdaşı Norio Taniguci adlı yapon alimi 1974-cü ildə keçirilən konfransda "nano-texnologiya" terminini ilk dəfə olaraq nazik təbəqənin çökməsi və ion şüasının frezelenmesi kimi yarımkeçirici prosesləri təsvir etmək üçün istifadə etmişdir. nanometr. Onun tərifi belə idi: "'Nano-texnologiya" əsasən materialların bir atom və ya bir molekul tərəfindən işlənməsi, ayrılması, konsolidasiyası və deformasiyasından ibarətdir. Bununla belə, bu termin 1981-ci ilə qədər, Taniguci-nin bu termini əvvəlcədən istifadə etməsindən xəbərsiz olan Erik Drexler 1981-ci ildə nanotexnologiyaya dair ilk məqaləsini dərc edənə qədər təkrar istifadə edilmədi.
Erik Drexler
1980-ci ildə Erik Drexler Proceedings of jurnalında dərc olunmuş "Molekulyar mühəndislik: molekulyar manipulyasiya üçün ümumi qabiliyyətlərin inkişafına bir yanaşma" mövzusunda ilk elmi məqaləsini hazırlayarkən, 1959-cu ildə Feynmanın "Dibində çox yer var" adlı təxribat xarakterli çıxışı ilə qarşılaşdı. 1981-ci ildə Milli Elmlər Akademiyası. "Nanotexnologiya" termini (Taniquçinin "nano-texnologiyası" ilə paraleldir) Drexler tərəfindən müstəqil olaraq 1986-cı ildə "Yaradılış Mühərrikləri: Nanotexnologiyanın Gələcək Era" kitabında tətbiq edilmişdir. özünün və ixtiyari mürəkkəbliyin digər elementlərinin surətini yarada bilən nanoölçülü "montajçı". O, həmçinin müstəqil işləməyə qadir olan hipotetik özünü təkrarlayan maşın tikilib buraxılarsa, nə baş verə biləcəyini təsvir etmək üçün ilk dəfə "boz goo" terminini nəşr etdi. Drexlerin nanotexnologiyaya baxışı çox vaxt "Molekulyar Nanotexnologiya" və ya "molekulyar istehsal" adlanır.
1991-ci ildə fəlsəfə doktoru MIT Media Laboratoriyasındakı iş molekulyar nanotexnologiya mövzusunda ilk doktorluq dərəcəsi idi və onun "Molekulyar maşın və hesablama tətbiqləri ilə istehsal" dissertasiyası Nanosistemlər: Molekulyar Maşınlar, İstehsalat, və Hesablama , 1992-ci ilin Ən Yaxşı Kompüter Elmləri Kitabı üçün Amerika Nəşriyyatları Assosiasiyası mükafatını aldı." Drexler "Nanotexnologiyaya hazırlıq" missiyası ilə 1986-cı ildə Foresight İnstitutunu qurdu. Drexler artıq Foresight İnstitutunun üzvü deyil.
Eksperimental tədqiqatlar və irəliləyişlər
Nanoelektronikada nanoölçülü qalınlıq 1960-cı illərin əvvəllərində tranzistorlarda istifadə edilən qapı oksidi və nazik filmlərdə nümayiş etdirildi, lakin 1990-cı illərin sonlarına qədər nanoölçülü qapı uzunluğuna malik MOSFETlər (metal-oksid-yarımkeçirici sahə effektli tranzistorlar) nümayiş etdirildi. Nanotexnologiya və nanoelm 1980-ci illərin əvvəllərində iki böyük inkişafla təkan aldı: klaster elminin doğulması və skan edən tunel mikroskopunun (STM) ixtirası. Bu inkişaflar 1985-ci ildə fullerenlərin kəşfinə və 1991-ci ildə karbon nanoborucuqlarının struktur təyinatına gətirib çıxardı. 1990-cı illərdə FinFET-in inkişafı müasir nanoelektron yarımkeçirici cihazların istehsalının əsasını qoydu.
Skanlayıcı prob mikroskopiyasının ixtirası
Atom səviyyəsində səthlərin təsviri üçün alət olan skan edən tunel mikroskopu 1981-ci ildə IBM Sürix Tədqiqat Laboratoriyasında Gerd Binnig və Heinrich Rohrer tərəfindən hazırlanmış və 1986-cı ildə Fizika üzrə Nobel Mükafatına layiq görülmüşdür. Binnig, Calvin Quate və Christoph Gerber 1986-cı ildə ilk atom qüvvəsi mikroskopunu icad etdilər. Kommersiya baxımından ilk atom qüvvəsi mikroskopu 1989-cu ildə təqdim edildi.
IBM tədqiqatçısı Don Eigler 1989-cu ildə skan edən tunel mikroskopundan istifadə edərək atomları manipulyasiya edən ilk şəxs olmuşdur. O, IBM loqotipini tərtib etmək üçün 35 Xenon atomundan istifadə edib. O, bu işinə görə 2010-cu ildə Nanoelm üzrə Kavli Mükafatını paylaşıb.
İnterfeys və kolloid elmində irəliləyişlər
İnterfeys və kolloid elmləri nanotexnologiya ilə əlaqəli olmadan əvvəl təxminən bir əsr ərzində mövcud idi. Nanohissəciklərin ilk müşahidələri və ölçüləri 20-ci əsrin ilk onilliyində 1925-ci ildə kimya üzrə Nobel mükafatı laureatı Richard Adolf Zsiqmondi tərəfindən qızıl zolları və ölçüsü 10 nm-ə qədər olan digər nanomaterialların təfərrüatlı tədqiqi ilə məşğul olmuşdu. İşığın dalğa uzunluğundan çox kiçik hissəcikləri görmə qabiliyyətinə malik olan ultramikroskopdan istifadə etməklə Zsiqmondi həm də hissəcik ölçüsünü xarakterizə etmək üçün "nanometr" terminini ilk dəfə istifadə etdi. 1920-ci illərdə kimya üzrə 1932-ci il Nobel mükafatı laureatı İrvinq Lenqmuir və Katharine B. Blodgett bir molekul qalınlığında olan material təbəqəsi olan monolayer anlayışını təqdim etdilər. 1950-ci illərin əvvəllərində Derjaguin və Abrikosova səth qüvvələrinin ilk ölçülməsini həyata keçirdilər.
1974-cü ildə vahid nazik təbəqələrin hər dəfə bir atom təbəqəsi çökdürülməsi üçün atom təbəqəsinin çökməsi prosesi Finlandiyada Tuomo Suntola və əməkdaşları tərəfindən işlənib hazırlanmış və patentləşdirilmişdir.
Başqa bir inkişafda yarımkeçirici nanokristalların sintezi və xassələri tədqiq edilmişdir. Bu, kvant nöqtələrinin yarımkeçirici nanohissəciklərinin sayının sürətlə artmasına səbəb oldu.
Fullerenlərin kəşfi
Fullerenləri 1985-ci ildə birlikdə 1996-cı ildə Kimya üzrə Nobel Mükafatını qazanan Harry Kroto, Richard Smalley və Robert Curl tərəfindən kəşf edilmişdir. Smalleynin fiziki kimya üzrə tədqiqatı impulslu molekulyar şüalardan istifadə edərək qeyri-üzvi və yarımkeçirici klasterlərin əmələ gəlməsini və uçuş kütlə spektrometriyasının vaxtını araşdırdı. Bu təcrübənin nəticəsi olaraq, Curl astronomik tozun tərkib hissələrinə dair sualı araşdırmaq üçün onu Krotoya təqdim etdi. Bunlar R Corona Borealis kimi köhnə ulduzlar tərəfindən qovulan karbonla zəngin hissələrdir. Bu əməkdaşlığın nəticəsi karbonun üçüncü allotropik forması kimi C60 və fullerenlərin kəşfi oldu.
Karbon nanoborucuqlarının kəşfi əsasən 1991-ci ildə NEC-dən Sumio Lijima ilə əlaqələndirilir, baxmayaraq ki, karbon nanoborular 1991-ci ildən əvvəl müxtəlif şərtlər altında istehsal edilmiş və müşahidə edilmişdir. Lijimanın 1991-ci ildə qövslə yandırılmış qrafit çubuqların həll olunmayan materialında çoxdivarlı karbon nanoborular kəşf etməsi və Mintmire, Dunlap və White-ın müstəqil proqnozu, əgər tək divarlı karbon nanoborular hazırlansa, o zaman onlar əla keçirici xüsusiyyətlər nümayiş etdirəcəklər. İndi karbon nanoborular ilə əlaqəli olan ilkin səs-küy yaratmağa kömək etdi. IBM-də Bethune və NEC-də Lijima tərəfindən tək divarlı karbon nanoborular və onları qövs boşalmasında karbona keçid metal katalizatorları əlavə etməklə xüsusi olaraq istehsal etmək üsulları müstəqil kəşflərindən sonra nanotube tədqiqatları xeyli sürətlənib.
1990-cı illərin əvvəllərində Arizona Universitetindən Huffman və Kraetschmer böyük miqdarda fullerenlərin sintezini və təmizlənməsini kəşf etdilər. Bu, hökumət və sənaye laboratoriyalarında yüzlərlə müstəntiq tərəfindən onların səciyyələndirilməsi və funksionallaşdırılması üçün qapı açdı. Qısa müddətdən sonra rubidium qatqılı C60 orta temperaturda (Tc = 32 K) superkeçirici olduğu aşkar edildi. 1992-ci ildə Materials Research Society toplantısında Dr.Ebbesen auditoriyaya öz kəşfini və karbon nanoborucuqlarının xarakteristikasını təsvir etdi. Bu hadisə, iştirak edənləri və digərlərini bu kəşfləri təkrarlamaq və irəli sürmək üçün onun təqdimatını öz laboratoriyalarına göndərdi. Huffman və Kratschmer tərəfindən istifadə edilənlərlə eyni və ya oxşar vasitələrdən istifadə edərək, yüzlərlə tədqiqatçı nanotube əsaslı nanotexnologiya sahəsini daha da inkişaf etdirdi.
Nanoölçülü tranzistorlar
Nanolayer-əsas metal-yarımkeçirici keçid (M–S qovşağı) tranzistoru ilkin olaraq 1960-cı ildə A. Rose, 1962-ci ildə L. Geppert, Mohamed Atalla və Dawon Kahng tərəfindən təklif edilmiş və nümayiş etdirilmişdir. Onilliklər sonra, çoxqapılı texnologiyada irəliləyişlər FinFET (fin sahə effektli tranzistor) ilə başlayaraq metal-oksid-yarımkeçirici sahə effektli tranzistor (MOSFET) cihazlarını 20 nm qapı uzunluğundan kiçik nano-miqyaslı səviyyələrə endirməyə imkan verdi. , üçölçülü, planar olmayan, ikiqat qapılı MOSFET. UC Berkeley-də Digh Hisamoto, Chenming Hu, Tsu-Jae King Liu, Jeffrey Bokor və başqaları daxil olmaqla tədqiqatçılar qrupu 1998-ci ildə 17 nm, daha sonra 2001-ci ildə 15 nm və 2002-ci ildə 10 nm prosesinə qədər FinFET cihazlarını hazırladı.
2006-cı ildə Koreya Qabaqcıl Elm və Texnologiya İnstitutundan (KAIST) və Milli Nano Fab Mərkəzindən koreyalı tədqiqatçılar qrupu dünyanın ən kiçik nanoelektronik cihazı olan 3 nm MOSFET-i inkişaf etdirdilər. O, gate-all-around (GAA) FinFET texnologiyasına əsaslanırdı.
İstinadlar
- Kokarneswaran, M., Selvaraj, P., Ashokan, T., Mohan, N., Chadrasekaran V. "Discovery of carbon nanotubes in sixth century BC potteries from Keeladi, India". Scientific Reports. 10 (1). 2020: 19786. doi:10.1038/s41598-020-76720-z. PMC 7666134 (#bad_pmc). PMID 33188244 (#bad_pmid).
- Sanderson, Katharine. "Sharpest cut from nanotube sword". Nature News. 2006-11-15. doi:10.1038/news061113-11. 2022-06-23 tarixində . İstifadə tarixi: 2022-04-29.
- Reiss, Gunter; Hutten, Andreas. Magnetic Nanoparticles // Sattler, Klaus D. (redaktor). Handbook of Nanophysics: Nanoparticles and Quantum Dots. CRC Press. 2010. 2–1. ISBN . 2022-03-28 tarixində . İstifadə tarixi: 2022-04-29.
- Khan, Firdos Alam. Biotechnology Fundamentals. CRC Press. 2012. səh. 328. ISBN . 2020-08-06 tarixində . İstifadə tarixi: 2022-04-29.
- Rawson, Philip S. Ceramics. University of Pennsylvania Press. 1984. ISBN . 2022-04-28 tarixində . İstifadə tarixi: 2022-04-29.
- Gribbin, John; Gribbin, Mary. Richard Feynman: A Life in Science. Dutton. 1997. səh. 170. ISBN .
- Hapgood, Fred. ""Nanotechnology" / "Tinytech"". Omni. November 1986: 56.
- Drexler, Eric. . Metamodern: The Trajectory of Technology. 15 December 2009. 14 July 2011 tarixində orijinalından arxivləşdirilib. İstifadə tarixi: 13 May 2011.
- Toumey, Chris. "Apostolic Succession" (PDF). Engineering & Science. 1/2. 2005: 16–23. 2021-04-30 tarixində (PDF). İstifadə tarixi: 2022-04-29.
- Toumey, Chris. (PDF). Techné. 13 (3). 2008: 133–168. 2009-09-19 tarixində orijinalından (PDF) arxivləşdirilib.
- Milburn, Colin. Nanovision: Engineering the Future. Duke University Press. 2008. ISBN .
- Taniguchi, Norio. "On the Basic Concept of 'Nano-Technology'". Proceedings of the International Conference on Production Engineering, Tokyo, 1974, Part II. 1974.
- Bassett, Deborah R. Taniguchi, Norio // Guston, David H. (redaktor). Encyclopedia of nanoscience and society. London: SAGE. 2010. səh. 747. ISBN . 28 April 2022 tarixində . İstifadə tarixi: 3 August 2014.
- Koodali, Ranjit T.; Klabunde, Kenneth J. Nanotechnology: Fandamental Principles and Applications // Kent, James A. (redaktor). Handbook of industrial chemistry and biotechnology, volume 1 (12th). New York: Springer. 2012. səh. 250. ISBN . 28 April 2022 tarixində . İstifadə tarixi: 3 August 2014.
- Maynard, edited by Graeme A. Hodge, Diana M. Bowman, Andrew D. Tracing and disputing the story of nanotechnology // Hodge, Graeme A.; Bowman, Diana M.; Maynard, Andrew D. (redaktorlar ). International handbook on regulating nanotechnologies. Cheltenham, UK: Edward Elgar. 2010. səh. 54. ISBN . 28 April 2022 tarixində . İstifadə tarixi: 4 August 2014. ([[:Category:|link]])[[Category:]]
- Drexler, K. E. "Molecular engineering: An approach to the development of general capabilities for molecular manipulation". Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America. 78 (9). 1981: 5275–5278. Bibcode:1981PNAS...78.5275D. doi:10.1073/pnas.78.9.5275. PMC 348724. PMID 16593078.
- Drexler, K. Eric. (PDF) (Tezis). Massachusetts Institute of Technology. 2008-09-08 tarixində orijinalından (PDF) arxivləşdirilib.
- Drexler, K. Eric. . Wiley. 1992. ISBN . 8 October 2019 tarixində orijinalından arxivləşdirilib. İstifadə tarixi: 14 May 2011.
- Binnig, G.; Rohrer, H. "Scanning tunneling microscopy". IBM Journal of Research and Development. 30 (4). 1986: 355–69.
- "Press Release: the 1996 Nobel Prize in Physics". Nobelprize.org. 15 October 1986. 5 June 2011 tarixində . İstifadə tarixi: 12 May 2011.
- Shankland, Stephen. "IBM's 35 atoms and the rise of nanotech". CNET. 28 September 2009. 24 February 2014 tarixində . İstifadə tarixi: 12 May 2011.
- . The Norwegian Academy of Science and Letters. 12 May 2011 tarixində orijinalından arxivləşdirilib. İstifadə tarixi: 13 May 2011.
- Efremov, I.F. Periodic Colloidal Structures // Matijevic, E. (redaktor). Surface and Colloid Science. 8. New York: Wiley. 1976. 2022-04-28 tarixində . İstifadə tarixi: 2022-04-29.
- Lyklema, J. . Academic Press. 2000. ISBN . 2012-10-12 tarixində orijinalından arxivləşdirilib. İstifadə tarixi: 2011-05-12.
- Zsigmondy, R. Colloids and the Ultramicroscope. New York: J.Wiley and Sons. 1914. İstifadə tarixi: 10 May 2011.
- Derjaguin, B. V.; Titijevskaia, A. S.; Abricossova, I. I.; Malkina, A. D. "Investigations of the forces of interaction of surfaces in different media and their application to the problem of colloid stability". Discussions of the Faraday Society. 18. 1954: 24. doi:10.1039/DF9541800024.
- "History of Atomic Layer Deposition". Finnish Micro & Nano Technology Network. 28 September 2007 tarixində .
- Kroto, H. W.; Heath, J. R.; O'Brien, S. C.; Curl, R. F.; Smalley, R. E. "C60: Buckminsterfullerene". Nature. 318 (6042). 1985: 162–163. Bibcode:1985Natur.318..162K. doi:10.1038/318162a0.
- Adams, W Wade; Baughman, Ray H. "Retrospective: Richard E. Smalley (1943–2005)". . 310 (5756) (Dec 23, 2005 tarixində nəşr olunub). 2005. səh. 1916. doi:10.1126/science.1122120. PMID 16373566.
- Monthioux, Marc; Kuznetsov, V. "Who should be given the credit for the discovery of carbon nanotubes?" (PDF). Carbon. 44 (9). 2006: 1621–1623. doi:10.1016/j.carbon.2006.03.019. 2009-09-29 tarixində (PDF). İstifadə tarixi: 2022-04-29.
- Mintmire, J.W.; Dunlap, BI; White, CT. "Are Fullerene Tubules Metallic?". Physical Review Letters. 68 (5). 1992: 631–634. Bibcode:1992PhRvL..68..631M. doi:10.1103/PhysRevLett.68.631. PMID 10045950.
- Bethune, D. S.; Klang, C. H.; De Vries, M. S.; Gorman, G.; Savoy, R.; Vazquez, J.; Beyers, R. "Cobalt-catalyzed growth of carbon nanotubes with single-atomic-layer walls". . 363 (6430). 1993: 605–607. Bibcode:1993Natur.363..605B. doi:10.1038/363605a0.
- Iijima, Sumio; Ichihashi, Toshinari. "Single-shell carbon nanotubes of 1-nm diameter". Nature. 363 (6430). 1993: 603–605. Bibcode:1993Natur.363..603I. doi:10.1038/363603a0.
- "The Discovery of Single-Wall Carbon Nanotubes at IBM". IBM. 2016-07-25. 2013-06-02 tarixində . İstifadə tarixi: 2022-04-29.
- Pasa, André Avelino. Chapter 13: Metal Nanolayer-Base Transistor // Handbook of Nanophysics: Nanoelectronics and Nanophotonics. . 2010. 13–1, 13–4. ISBN . 2020-03-08 tarixində . İstifadə tarixi: 2022-04-29.
- . "FinFET: History, Fundamentals and Future". . Symposium on VLSI Technology Short Course. June 11, 2012. 28 May 2016 tarixində . İstifadə tarixi: 9 July 2019.
- , Nanoparticle News, 1 April 2006, 6 November 2012 tarixində orijinalından arxivləşdirilib
- Lee, Hyunjin; və b., "Sub-5nm All-Around Gate FinFET for Ultimate Scaling", Symposium on VLSI Technology, 2006, 2006: 58–59, doi:10.1109/VLSIT.2006.1705215, :10203/698, ISBN
Bu məqalə . |
wikipedia, oxu, kitab, kitabxana, axtar, tap, meqaleler, kitablar, oyrenmek, wiki, bilgi, tarix, tarixi, endir, indir, yukle, izlə, izle, mobil, telefon ucun, azeri, azəri, azerbaycanca, azərbaycanca, sayt, yüklə, pulsuz, pulsuz yüklə, haqqında, haqqinda, məlumat, melumat, mp3, video, mp4, 3gp, jpg, jpeg, gif, png, şəkil, muisiqi, mahnı, kino, film, kitab, oyun, oyunlar, android, ios, apple, samsung, iphone, pc, xiomi, xiaomi, redmi, honor, oppo, nokia, sonya, mi, web, computer, komputer
Nanotexnologiya teqriben 1 100 nm 1 nm metrin milyardda biri miqyasinda molekul ve ya makromolekullar ve atom seviyyesinde arasdirmalarin ve texnoloji proseslerin inkisaf etdirilmesi atom ve molekullar seviyyesinde tamamile yeni fiziki ve kimyevi keyfiyyetlere malik olan strukturlarin sistem ve qurgularin yaradilmasi ve tetbiq edilmesi atom seviyyesinde bas veren proseslere nezaretin ve manipulyasiyanin heyata kecirilmesidir Nanotexnologiya atom ve molekullarla manipulyasiya ederek yeni keyfiyyetli materiallarin alinmasini ve bu materiallardan istifade ederek nanoolculu masin ve mexanizmlerin robotlarin komputer ciplerinin elektronika avadanliqlarinin optik cihazlarin sensorlarin etraf muhitin kimyevi ve fiziki temizleyicilerinin canli orqanizmlere maddelerin o cumleden derman preparatlarinin dasinmasini heyata keciren qurgularin yaradilmasini nezerde tutur Nanotexnologiyanin tarixiNanotexnologiyanin genis kateqoriyasina daxil olan konsepsiyalarin ve eksperimental islerin inkisafini izleyir Nanotexnologiya elmi tedqiqatlarda nisbeten yeni inkisaf olsa da onun merkezi konsepsiyalarinin inkisafi daha uzun muddet erzinde bas vermisdir 1980 ci illerde nanotexnologiyanin yaranmasina 1981 ci ilde skan eden tunel mikroskopunun ixtirasi ve 1985 ci ilde fullerenlerin kesfi kimi eksperimental irelileyislerin yaxinlasmasi nanotexnologiyanin meqsedleri ucun konseptual cercivenin aydinlasdirilmasi ve populyarlasmasi sebeb olmusdur 1986 ci ilde Yaradilis muherrikleri kitabinin nesri Sahe 2000 ci illerin evvellerinde hem potensial tesirleri hem de molekulyar nanotexnologiyanin terefdarlari terefinden nezerde tutulan tetbiqlerin meqsedeuygunlugu ve hokumetlerin nanotexnologiyaya dair tedqiqatlari tesviq etmek ve maliyyelesdirmek ucun herekete kecmesi ile bagli genis muzakirelerle artan ictimai melumatliliq ve mubahiselere meruz qaldi 2000 ci illerin evvelleri nanotexnologiyanin kommersiya tetbiqlerinin baslangicini da gordu baxmayaraq ki bunlar sahenin nezerde tutdugu transformativ tetbiqlerden daha cox nanomateriallarin kutlevi tetbiqleri ile mehdudlasdi Nanomateryallarin erken istifadesiKarbon nanoborucuqlari Hindistanin Keeladi seherinin dulusculuq memulatlarinda tapilib Eramizdan evvel 600 300 cu iller lakin onlarin nece emele geldiyi ve ya onlari ehtiva eden maddenin qesden istifade edilib edilmediyi melum deyil Demesq poladinda sementit nanotelleri musahide edilmisdir bu material eramizdan evvel 900 cu illerde onlarin menseyi ve istehsal vasiteleri de melum deyil Nanohissecikler muasir elmle elaqelendirilse de hele IX esrde Mesopotamiyada senetkarlar terefinden qablarin sethinde parilti effekti yaratmaq ucun istifade edilmisdir Muasir dovrde Orta esrler ve Intibah dovrune aid saxsi qablar tez tez ferqli qizil ve ya mis rengli metal pariltisini saxlayir Bu parilti keramika siresinin susevari matrisinde homojen sekilde sepelenmis gumus ve mis nanohissecikleri ehtiva eden susenin seffaf sethine cekilmis metal filmden qaynaqlanir Bu nanohissecikler senetkarlar terefinden evveller sirlenmis saxsi qablarin sethine mis ve gumus duzlari ve oksidleri sirke oxra ve gil elave etmekle yaradilmisdir Texnika muselman dunyasinda yaranib Muselmanlarin bedii tesvirlerde qizildan istifade etmesine icaze verilmediyi ucun onlar esl qizildan istifade etmeden de oxsar effekt yaratmagin yollarini axtarirdilar Tapdiqlari hell pariltidan istifade idi Konseptual menseyiRichard Feynman Amerikali fizik Richard Feynman 29 dekabr 1959 cu ilde Caltech de Amerika Fizika Cemiyyetinin nanotexnologiya sahesine ilham verdiyi ucun kecirilen toplantida Altda cox yer var adli meruze etdi Feynman ferdi atomlari ve molekullari manipulyasiya etmek qabiliyyetinin inkisaf etdirile bileceyi bir prosesi tesvir etdi bir destden istifade ederek mutenasib olaraq daha kicik olan basqa bir desti qurmaq ve idare etmek ucun lazim olan miqyasda Bunun gedisinde o qeyd etdi ki muxtelif fiziki hadiselerin miqyasinin deyismesi neticesinde miqyaslasdirma meseleleri yaranacaq cazibe quvvesi azalacaq sethi gerginlik ve Van Der Waals cazibesi daha vacib olacaq Feynmanin olumunden sonra nanotexnologiyanin tarixi inkisafini tedqiq eden alim 1980 ve 1990 ci illerde yaranmaqda olan sahede feal olan insanlarin coxunun xatirelerine esaslanaraq nanotexnologiya tedqiqatlarinin katalizatorunda onun faktiki rolunun mehdud oldugu qenaetine geldi Cenubi Karolina Universitetinin medeni antropoloqu Chris Toumey Feynmanin nitqinin nesr olunmus versiyalarinin elmi edebiyyatdaki sitatlarla olculduyu kimi ilk derc edildikden sonra iyirmi il erzinde ehemiyyetsiz tesire malik oldugunu ve daha cox tesir gostermediyini tesbit etdi 1981 ci ilde Skaner Tunel Mikroskopunun icadindan sonraki onillik Sonradan 1990 ci illerin evvellerinde elmi edebiyyatda Bol otaq a maraq xeyli artdi Bu yeqin ki ona goredir ki nanotexnologiya termini K Erik Drexler terefinden 1986 ci ilde Feynmanin milyard kicik fabrik anlayisini goturen Yaradilis muherrikleri Nanotexnologiyanin gelecek dovru kitabinda istifade etdikden sonra hemin dovrden evvel ciddi diqqeti celb etmisdir ve insan operatorun nezareti yerine komputer idaresi vasitesile ozlerinin daha cox suretini cixara bilecekleri fikrini elave etdi ve hemin ilin sonunda kutlevi tirajli elm yonumlu Omni jurnalinda derc olunan Nanotexnologiya basliqli ortuk meqalesinde Toumey in tehliline hemcinin nanotexnologiya uzre gorkemli alimlerin serhleri de daxildir Onlar deyirler ki Bol otaq onlarin ilk islerine tesir etmeyib ve eslinde onlarin ekseriyyeti onu sonraki tarixe qeder oxumayib Bu ve diger inkisaflar Feynmanin Bol Otaq eserinin retroaktiv sekilde yeniden kesf edilmesinin nanotexnologiyaya 1959 cu ilin dekabr ayinin erken tarixini ustelik Ricard Feynmanin xarizmasi ve dahiliyi ile elaqeni temin eden paketlenmis bir tarix verdiyine isare edir Feynmanin Nobel mukafati laureati ve 20 ci esr elminin ikonik sexsiyyeti kimi taninmasi subhesiz ki nanotexnologiyanin terefdarlarina komek etdi ve kecmisle deyerli intellektual elaqe yaratdi Norio Taniguci Tokio Elm Universitetinin emekdasi Norio Taniguci adli yapon alimi 1974 cu ilde kecirilen konfransda nano texnologiya terminini ilk defe olaraq nazik tebeqenin cokmesi ve ion suasinin frezelenmesi kimi yarimkecirici prosesleri tesvir etmek ucun istifade etmisdir nanometr Onun terifi bele idi Nano texnologiya esasen materiallarin bir atom ve ya bir molekul terefinden islenmesi ayrilmasi konsolidasiyasi ve deformasiyasindan ibaretdir Bununla bele bu termin 1981 ci ile qeder Taniguci nin bu termini evvelceden istifade etmesinden xebersiz olan Erik Drexler 1981 ci ilde nanotexnologiyaya dair ilk meqalesini derc edene qeder tekrar istifade edilmedi Erik Drexler 1980 ci ilde Erik Drexler Proceedings of jurnalinda derc olunmus Molekulyar muhendislik molekulyar manipulyasiya ucun umumi qabiliyyetlerin inkisafina bir yanasma movzusunda ilk elmi meqalesini hazirlayarken 1959 cu ilde Feynmanin Dibinde cox yer var adli texribat xarakterli cixisi ile qarsilasdi 1981 ci ilde Milli Elmler Akademiyasi Nanotexnologiya termini Taniqucinin nano texnologiyasi ile paraleldir Drexler terefinden musteqil olaraq 1986 ci ilde Yaradilis Muherrikleri Nanotexnologiyanin Gelecek Era kitabinda tetbiq edilmisdir ozunun ve ixtiyari murekkebliyin diger elementlerinin suretini yarada bilen nanoolculu montajci O hemcinin musteqil islemeye qadir olan hipotetik ozunu tekrarlayan masin tikilib buraxilarsa ne bas vere bileceyini tesvir etmek ucun ilk defe boz goo terminini nesr etdi Drexlerin nanotexnologiyaya baxisi cox vaxt Molekulyar Nanotexnologiya ve ya molekulyar istehsal adlanir 1991 ci ilde felsefe doktoru MIT Media Laboratoriyasindaki is molekulyar nanotexnologiya movzusunda ilk doktorluq derecesi idi ve onun Molekulyar masin ve hesablama tetbiqleri ile istehsal dissertasiyasi Nanosistemler Molekulyar Masinlar Istehsalat ve Hesablama 1992 ci ilin En Yaxsi Komputer Elmleri Kitabi ucun Amerika Nesriyyatlari Assosiasiyasi mukafatini aldi Drexler Nanotexnologiyaya hazirliq missiyasi ile 1986 ci ilde Foresight Institutunu qurdu Drexler artiq Foresight Institutunun uzvu deyil Eksperimental tedqiqatlar ve irelileyislerNanoelektronikada nanoolculu qalinliq 1960 ci illerin evvellerinde tranzistorlarda istifade edilen qapi oksidi ve nazik filmlerde numayis etdirildi lakin 1990 ci illerin sonlarina qeder nanoolculu qapi uzunluguna malik MOSFETler metal oksid yarimkecirici sahe effektli tranzistorlar numayis etdirildi Nanotexnologiya ve nanoelm 1980 ci illerin evvellerinde iki boyuk inkisafla tekan aldi klaster elminin dogulmasi ve skan eden tunel mikroskopunun STM ixtirasi Bu inkisaflar 1985 ci ilde fullerenlerin kesfine ve 1991 ci ilde karbon nanoborucuqlarinin struktur teyinatina getirib cixardi 1990 ci illerde FinFET in inkisafi muasir nanoelektron yarimkecirici cihazlarin istehsalinin esasini qoydu Skanlayici prob mikroskopiyasinin ixtirasi Atom seviyyesinde sethlerin tesviri ucun alet olan skan eden tunel mikroskopu 1981 ci ilde IBM Surix Tedqiqat Laboratoriyasinda Gerd Binnig ve Heinrich Rohrer terefinden hazirlanmis ve 1986 ci ilde Fizika uzre Nobel Mukafatina layiq gorulmusdur Binnig Calvin Quate ve Christoph Gerber 1986 ci ilde ilk atom quvvesi mikroskopunu icad etdiler Kommersiya baximindan ilk atom quvvesi mikroskopu 1989 cu ilde teqdim edildi IBM tedqiqatcisi Don Eigler 1989 cu ilde skan eden tunel mikroskopundan istifade ederek atomlari manipulyasiya eden ilk sexs olmusdur O IBM loqotipini tertib etmek ucun 35 Xenon atomundan istifade edib O bu isine gore 2010 cu ilde Nanoelm uzre Kavli Mukafatini paylasib Interfeys ve kolloid elminde irelileyisler Interfeys ve kolloid elmleri nanotexnologiya ile elaqeli olmadan evvel texminen bir esr erzinde movcud idi Nanohisseciklerin ilk musahideleri ve olculeri 20 ci esrin ilk onilliyinde 1925 ci ilde kimya uzre Nobel mukafati laureati Richard Adolf Zsiqmondi terefinden qizil zollari ve olcusu 10 nm e qeder olan diger nanomateriallarin teferruatli tedqiqi ile mesgul olmusdu Isigin dalga uzunlugundan cox kicik hissecikleri gorme qabiliyyetine malik olan ultramikroskopdan istifade etmekle Zsiqmondi hem de hissecik olcusunu xarakterize etmek ucun nanometr terminini ilk defe istifade etdi 1920 ci illerde kimya uzre 1932 ci il Nobel mukafati laureati Irvinq Lenqmuir ve Katharine B Blodgett bir molekul qalinliginda olan material tebeqesi olan monolayer anlayisini teqdim etdiler 1950 ci illerin evvellerinde Derjaguin ve Abrikosova seth quvvelerinin ilk olculmesini heyata kecirdiler 1974 cu ilde vahid nazik tebeqelerin her defe bir atom tebeqesi cokdurulmesi ucun atom tebeqesinin cokmesi prosesi Finlandiyada Tuomo Suntola ve emekdaslari terefinden islenib hazirlanmis ve patentlesdirilmisdir Basqa bir inkisafda yarimkecirici nanokristallarin sintezi ve xasseleri tedqiq edilmisdir Bu kvant noqtelerinin yarimkecirici nanohisseciklerinin sayinin suretle artmasina sebeb oldu Fullerenlerin kesfi Fullerenleri 1985 ci ilde birlikde 1996 ci ilde Kimya uzre Nobel Mukafatini qazanan Harry Kroto Richard Smalley ve Robert Curl terefinden kesf edilmisdir Smalleynin fiziki kimya uzre tedqiqati impulslu molekulyar sualardan istifade ederek qeyri uzvi ve yarimkecirici klasterlerin emele gelmesini ve ucus kutle spektrometriyasinin vaxtini arasdirdi Bu tecrubenin neticesi olaraq Curl astronomik tozun terkib hisselerine dair suali arasdirmaq ucun onu Krotoya teqdim etdi Bunlar R Corona Borealis kimi kohne ulduzlar terefinden qovulan karbonla zengin hisselerdir Bu emekdasligin neticesi karbonun ucuncu allotropik formasi kimi C60 ve fullerenlerin kesfi oldu Karbon nanoborucuqlarinin kesfi esasen 1991 ci ilde NEC den Sumio Lijima ile elaqelendirilir baxmayaraq ki karbon nanoborular 1991 ci ilden evvel muxtelif sertler altinda istehsal edilmis ve musahide edilmisdir Lijimanin 1991 ci ilde qovsle yandirilmis qrafit cubuqlarin hell olunmayan materialinda coxdivarli karbon nanoborular kesf etmesi ve Mintmire Dunlap ve White in musteqil proqnozu eger tek divarli karbon nanoborular hazirlansa o zaman onlar ela kecirici xususiyyetler numayis etdirecekler Indi karbon nanoborular ile elaqeli olan ilkin ses kuy yaratmaga komek etdi IBM de Bethune ve NEC de Lijima terefinden tek divarli karbon nanoborular ve onlari qovs bosalmasinda karbona kecid metal katalizatorlari elave etmekle xususi olaraq istehsal etmek usullari musteqil kesflerinden sonra nanotube tedqiqatlari xeyli suretlenib 1990 ci illerin evvellerinde Arizona Universitetinden Huffman ve Kraetschmer boyuk miqdarda fullerenlerin sintezini ve temizlenmesini kesf etdiler Bu hokumet ve senaye laboratoriyalarinda yuzlerle mustentiq terefinden onlarin seciyyelendirilmesi ve funksionallasdirilmasi ucun qapi acdi Qisa muddetden sonra rubidium qatqili C60 orta temperaturda Tc 32 K superkecirici oldugu askar edildi 1992 ci ilde Materials Research Society toplantisinda Dr Ebbesen auditoriyaya oz kesfini ve karbon nanoborucuqlarinin xarakteristikasini tesvir etdi Bu hadise istirak edenleri ve digerlerini bu kesfleri tekrarlamaq ve ireli surmek ucun onun teqdimatini oz laboratoriyalarina gonderdi Huffman ve Kratschmer terefinden istifade edilenlerle eyni ve ya oxsar vasitelerden istifade ederek yuzlerle tedqiqatci nanotube esasli nanotexnologiya sahesini daha da inkisaf etdirdi Nanoolculu tranzistorlar Nanolayer esas metal yarimkecirici kecid M S qovsagi tranzistoru ilkin olaraq 1960 ci ilde A Rose 1962 ci ilde L Geppert Mohamed Atalla ve Dawon Kahng terefinden teklif edilmis ve numayis etdirilmisdir Onillikler sonra coxqapili texnologiyada irelileyisler FinFET fin sahe effektli tranzistor ile baslayaraq metal oksid yarimkecirici sahe effektli tranzistor MOSFET cihazlarini 20 nm qapi uzunlugundan kicik nano miqyasli seviyyelere endirmeye imkan verdi ucolculu planar olmayan ikiqat qapili MOSFET UC Berkeley de Digh Hisamoto Chenming Hu Tsu Jae King Liu Jeffrey Bokor ve basqalari daxil olmaqla tedqiqatcilar qrupu 1998 ci ilde 17 nm daha sonra 2001 ci ilde 15 nm ve 2002 ci ilde 10 nm prosesine qeder FinFET cihazlarini hazirladi 2006 ci ilde Koreya Qabaqcil Elm ve Texnologiya Institutundan KAIST ve Milli Nano Fab Merkezinden koreyali tedqiqatcilar qrupu dunyanin en kicik nanoelektronik cihazi olan 3 nm MOSFET i inkisaf etdirdiler O gate all around GAA FinFET texnologiyasina esaslanirdi IstinadlarKokarneswaran M Selvaraj P Ashokan T Mohan N Chadrasekaran V Discovery of carbon nanotubes in sixth century BC potteries from Keeladi India Scientific Reports 10 1 2020 19786 doi 10 1038 s41598 020 76720 z PMC 7666134 bad pmc PMID 33188244 bad pmid Sanderson Katharine Sharpest cut from nanotube sword Nature News 2006 11 15 doi 10 1038 news061113 11 2022 06 23 tarixinde Istifade tarixi 2022 04 29 Reiss Gunter Hutten Andreas Magnetic Nanoparticles Sattler Klaus D redaktor Handbook of Nanophysics Nanoparticles and Quantum Dots CRC Press 2010 2 1 ISBN 9781420075458 2022 03 28 tarixinde Istifade tarixi 2022 04 29 Khan Firdos Alam Biotechnology Fundamentals CRC Press 2012 seh 328 ISBN 9781439820094 2020 08 06 tarixinde Istifade tarixi 2022 04 29 Rawson Philip S Ceramics University of Pennsylvania Press 1984 ISBN 978 0 8122 1156 6 2022 04 28 tarixinde Istifade tarixi 2022 04 29 Gribbin John Gribbin Mary Richard Feynman A Life in Science Dutton 1997 seh 170 ISBN 978 0 452 27631 4 Hapgood Fred Nanotechnology Tinytech Omni November 1986 56 Drexler Eric Metamodern The Trajectory of Technology 15 December 2009 14 July 2011 tarixinde orijinalindan arxivlesdirilib Istifade tarixi 13 May 2011 Toumey Chris Apostolic Succession PDF Engineering amp Science 1 2 2005 16 23 2021 04 30 tarixinde PDF Istifade tarixi 2022 04 29 Toumey Chris PDF Techne 13 3 2008 133 168 2009 09 19 tarixinde orijinalindan PDF arxivlesdirilib Milburn Colin Nanovision Engineering the Future Duke University Press 2008 ISBN 978 0 8223 4265 6 Taniguchi Norio On the Basic Concept of Nano Technology Proceedings of the International Conference on Production Engineering Tokyo 1974 Part II 1974 Bassett Deborah R Taniguchi Norio Guston David H redaktor Encyclopedia of nanoscience and society London SAGE 2010 seh 747 ISBN 9781452266176 28 April 2022 tarixinde Istifade tarixi 3 August 2014 Koodali Ranjit T Klabunde Kenneth J Nanotechnology Fandamental Principles and Applications Kent James A redaktor Handbook of industrial chemistry and biotechnology volume 1 12th New York Springer 2012 seh 250 ISBN 9781461442592 28 April 2022 tarixinde Istifade tarixi 3 August 2014 Maynard edited by Graeme A Hodge Diana M Bowman Andrew D Tracing and disputing the story of nanotechnology Hodge Graeme A Bowman Diana M Maynard Andrew D redaktorlar International handbook on regulating nanotechnologies Cheltenham UK Edward Elgar 2010 seh 54 ISBN 9781849808125 28 April 2022 tarixinde Istifade tarixi 4 August 2014 Category link Category Drexler K E Molecular engineering An approach to the development of general capabilities for molecular manipulation Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America 78 9 1981 5275 5278 Bibcode 1981PNAS 78 5275D doi 10 1073 pnas 78 9 5275 PMC 348724 PMID 16593078 Drexler K Eric PDF Tezis Massachusetts Institute of Technology 2008 09 08 tarixinde orijinalindan PDF arxivlesdirilib Drexler K Eric Wiley 1992 ISBN 978 0 471 57518 4 8 October 2019 tarixinde orijinalindan arxivlesdirilib Istifade tarixi 14 May 2011 Binnig G Rohrer H Scanning tunneling microscopy IBM Journal of Research and Development 30 4 1986 355 69 Press Release the 1996 Nobel Prize in Physics Nobelprize org 15 October 1986 5 June 2011 tarixinde Istifade tarixi 12 May 2011 Shankland Stephen IBM s 35 atoms and the rise of nanotech CNET 28 September 2009 24 February 2014 tarixinde Istifade tarixi 12 May 2011 The Norwegian Academy of Science and Letters 12 May 2011 tarixinde orijinalindan arxivlesdirilib Istifade tarixi 13 May 2011 Efremov I F Periodic Colloidal Structures Matijevic E redaktor Surface and Colloid Science 8 New York Wiley 1976 2022 04 28 tarixinde Istifade tarixi 2022 04 29 Lyklema J Academic Press 2000 ISBN 978 0 12 460523 7 2012 10 12 tarixinde orijinalindan arxivlesdirilib Istifade tarixi 2011 05 12 Zsigmondy R Colloids and the Ultramicroscope New York J Wiley and Sons 1914 Istifade tarixi 10 May 2011 Derjaguin B V Titijevskaia A S Abricossova I I Malkina A D Investigations of the forces of interaction of surfaces in different media and their application to the problem of colloid stability Discussions of the Faraday Society 18 1954 24 doi 10 1039 DF9541800024 History of Atomic Layer Deposition Finnish Micro amp Nano Technology Network 28 September 2007 tarixinde Kroto H W Heath J R O Brien S C Curl R F Smalley R E C60 Buckminsterfullerene Nature 318 6042 1985 162 163 Bibcode 1985Natur 318 162K doi 10 1038 318162a0 Adams W Wade Baughman Ray H Retrospective Richard E Smalley 1943 2005 310 5756 Dec 23 2005 tarixinde nesr olunub 2005 seh 1916 doi 10 1126 science 1122120 PMID 16373566 Monthioux Marc Kuznetsov V Who should be given the credit for the discovery of carbon nanotubes PDF Carbon 44 9 2006 1621 1623 doi 10 1016 j carbon 2006 03 019 2009 09 29 tarixinde PDF Istifade tarixi 2022 04 29 Mintmire J W Dunlap BI White CT Are Fullerene Tubules Metallic Physical Review Letters 68 5 1992 631 634 Bibcode 1992PhRvL 68 631M doi 10 1103 PhysRevLett 68 631 PMID 10045950 Bethune D S Klang C H De Vries M S Gorman G Savoy R Vazquez J Beyers R Cobalt catalyzed growth of carbon nanotubes with single atomic layer walls 363 6430 1993 605 607 Bibcode 1993Natur 363 605B doi 10 1038 363605a0 Iijima Sumio Ichihashi Toshinari Single shell carbon nanotubes of 1 nm diameter Nature 363 6430 1993 603 605 Bibcode 1993Natur 363 603I doi 10 1038 363603a0 The Discovery of Single Wall Carbon Nanotubes at IBM IBM 2016 07 25 2013 06 02 tarixinde Istifade tarixi 2022 04 29 Pasa Andre Avelino Chapter 13 Metal Nanolayer Base Transistor Handbook of Nanophysics Nanoelectronics and Nanophotonics 2010 13 1 13 4 ISBN 9781420075519 2020 03 08 tarixinde Istifade tarixi 2022 04 29 FinFET History Fundamentals and Future Symposium on VLSI Technology Short Course June 11 2012 28 May 2016 tarixinde Istifade tarixi 9 July 2019 Nanoparticle News 1 April 2006 6 November 2012 tarixinde orijinalindan arxivlesdirilib Lee Hyunjin ve b Sub 5nm All Around Gate FinFET for Ultimate Scaling Symposium on VLSI Technology 2006 2006 58 59 doi 10 1109 VLSIT 2006 1705215 10203 698 ISBN 978 1 4244 0005 8 Bu meqale qaralama halindadir Lutfen meqaleni umumvikipediya ve redakte qaydalarina uygun sekilde tertib edin Eger mumkundurse daha deqiq bir sablondan istifade edin